Implementación de un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas semiconductoras de bajas temperaturas
dc.contributor.advisor | Weingärtner, Roland | |
dc.contributor.author | Llontop López-Dávalos, Paul David | es_ES |
dc.date.accessioned | 2017-05-25T22:31:13Z | es_ES |
dc.date.available | 2017-05-25T22:31:13Z | es_ES |
dc.date.created | 2017 | es_ES |
dc.date.issued | 2017-05-25 | es_ES |
dc.description.abstract | Un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas a bajas temperaturas fue implementado empleando un sistema criogénico de ciclo cerrado de helio, un sistema de control de temperatura y un sistema de medición de resistividad. A fin de verificar el sistema implementado, seis contactos de aluminio fueron depositados a lo largo de cada diagonal sobre una muestra cuadrada de silicio tipo p de bajo dopaje para medir su resistividad a diferentes temperaturas a partir de 66K. La magnitud del error de medición en función de la distancia de los contactos respecto a las esquinas de la muestra fue determinada por dos métodos. La discusión de la dependencia de la resistividad con la temperatura fue realizada con los resultados de menor error. | es_ES |
dc.description.abstract | A low temperature thin film electrical resistivity measurement system was implemented by employing a closed cycle helium cryogenic system, a temperature control system and a resistivity measurement system. In order to verify the implemented system, six Al contacts were deposited along each diagonal on a square low doped p-type Si sample for resistivity measurement at different temperatures starting at 66K. Measurement error magnitude as a function of the contact distance relative to the sample corners was determined by two methods. Discussion of the temperature dependence of resistivity was carried out with the lowest error results. | es_ES |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.12404/8685 | |
dc.language.iso | spa | es_ES |
dc.publisher | Pontificia Universidad Católica del Perú | es_ES |
dc.publisher.country | PE | es_ES |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | es_ES |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/pe/ | * |
dc.subject | Semiconductores | es_ES |
dc.subject | Películas delgadas | es_ES |
dc.subject.ocde | https://purl.org/pe-repo/ocde/ford#1.03.00 | es_ES |
dc.title | Implementación de un sistema de medición de resistividad eléctrica de películas delgadas semiconductoras de bajas temperaturas | es_ES |
dc.type | info:eu-repo/semantics/masterThesis | es_ES |
renati.discipline | 533017 | es_ES |
renati.level | https://purl.org/pe-repo/renati/level#maestro | es_ES |
renati.type | http://purl.org/pe-repo/renati/type#tesis | es_ES |
thesis.degree.discipline | Física | es_ES |
thesis.degree.grantor | Pontificia Universidad Católica del Perú. Escuela de Posgrado | es_ES |
thesis.degree.level | Maestría | es_ES |
thesis.degree.name | Maestro en Física | es_ES |
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