Caracterización óptica de películas delgadas de SiO2 con nanoestructuras de TiO2 embebido por medio de elipsometría espectral de ángulo variable y la aproximación de medio efectivo

Abstract

Se caracterizó las propiedades ópticas en el rango de luz visible de películas delgadas depositadas sobre vidrio y silicio, las cuales fueron preparadas por la empresa AGP-Glass. Estas películas delgadas están conformadas por SiO2 con nanoestructuras de TiO2 embebido y tienen por nombre comercial Fractal. Para el análisis se utilizó la técnica de elipsometría espectral de ángulo variable y la aproximación de medio efectivo. Se analizó la influencia de la temperatura de curado de las películas y la concentración de TiO2 sobre las propiedades ópticas de las películas. Típicamente a mayor concentración de TiO2 se observa una tendencia a obtener un mayor índice de refracción en la película Fractal. Se observó que el índice de refracción efectivo del material varía entre 1.45 a 1.7 dependiendo de la concentración de componente activo y la temperatura de tratamientos térmicos postdeposición. Se estudió la morfología de las películas. Se obtuvo el índice de refracción para las diferentes muestras de películas delgadas y su dependencia respecto a la longitud de onda.