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dc.contributor.advisorTheska, Renées_ES
dc.contributor.advisorWeingärtner, Rolandes_ES
dc.contributor.authorAndreas Lich, Julianes_ES
dc.date.accessioned2017-09-06T23:44:17Zes_ES
dc.date.available2017-09-06T23:44:17Zes_ES
dc.date.created2017es_ES
dc.date.issued2017-09-06es_ES
dc.identifier.urihttp://tesis.pucp.edu.pe/repositorio/handle/123456789/9320es_ES
dc.description.abstractTo obtain spectra of a light emitting substrate during the deposition of Terbium (Tb) doped thin films by RF magnetron sputtering, an optomechanical device is developed, constructed and tested. The device is required to enable spatial scans of the substrate plane and the plasma beneath. Thereby, measurements of spatial emission intensity distribution and a separation of the Tb spectrum from the plasma-overlain substrate spectrum shall be possible. After an introduction into theoretical and practical boundary conditions, the system’s requirements are specified, followed by a brief investigation of existing solutions for similar problems. A basic optical prototype system is introduced and analysed. After a discussion and evaluation of part solutions, an optomechanical system is developed, constructed, analysed and compared to the prototype system.es_ES
dc.description.abstractZur spektralen Analyse eines lichtemittierenden Substrates während des Beschichtungsprozesses von Terbium (Tb)-dotierten Dünnfilmen durch RF Magnetronsputtern wird ein optomechanisches Gerät entwickelt, konstruiert und getestet. Das Gerät soll räumliche Scans der Substratoberfläche und dem, sich darunter befindenden, Plasma ermöglichen. Räumliche Verteilungen der Emissionsintensit ät sollen dadurch messbar- und das Tb-Spektrum von dem plasmaüberlagerten Substratspektrum trennbar gemacht werden. Nach einer Einführung in die theoretischen- und praktischen Rahmenbedingungen erfolgt die Präzisierung der Aufgabenstellung und eine kurze Recherche zu bereits vorhandenen Lösungen von ähnlichen Problemen. Ein Prototyp wird vorgestellt und geprüft. Nach der Diskussion und Evaluierung von Teillösungen wird ein optomechanisches System entwickelt, konstruiert, analysiert und mit dem Prototyp verglichen.es_ES
dc.description.uriTesises_ES
dc.language.isoenges_ES
dc.publisherPontificia Universidad Católica del Perúes_ES
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesses_ES
dc.sourcePontificia Universidad Católica del Perúes_ES
dc.sourceRepositorio de Tesis - PUCPes_ES
dc.subjectOptoelectrónica--Dispositivos electrónicoses_ES
dc.subjectDiseño de sistemases_ES
dc.titleOptical system to observe an measure the spectra of a light emitting substrate and plasma in a RF magnetrones_ES
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesises_ES
thesis.degree.nameMagíster en Ingeniería Mecatrónicaes_ES
thesis.degree.levelMaestríaes_ES
thesis.degree.grantorPontificia Universidad Católica del Perú. Escuela de Posgrado.es_ES
thesis.degree.disciplineIngeniería Mecatrónicaes_ES


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